수동 배치 압력 경화 오븐 – PCO 500
수동 로딩 배치 압력 경화 오븐 300mm 웨이퍼용 전도 가열판 옵션이 있습니다.
- 오븐 크기 (mm) : 1,800 [L] x 1,400 [W] x 1,700 [H]
- 챔버 사용 가능한 영억 (mm): 350 [L] x 350 [W] x 227 [H]
- 최대 작동 압력 : 12 bar (174 psi)
- 최대 작동 온도:
- 200⁰ C (강제 공기 대류)
- 350⁰ C (전도판 옵션)
- 수동 로딩
- 외부 냉각기 옵션
압력 챔버 내부의 전도판 옵션.
