완전 자동 압력 경화 오븐 – PCO 1300

300mm EFEM이 있는 완전 자동 압력 경화 오븐.

• 오븐 크기 (mm) : 2,200 [W] x 2,200 [D] x 2,475 [H]
• 챔버 사용 가능한 영역 (mm): 560 [W] x 680 [D] x 480 [H]
• 최대 작동 압력 : 20 bar (290 psi)
• 최대 작동 온도: 260⁰ C
• 질소 활성화(옵션)
• 클린룸 클래스 100(옵션)
• 진공 최저 5Torr(옵션)
• EFEM(300mm 웨이퍼)을 사용한 완전 자동 로딩