플럭스리스/포믹 리플로우 오븐
Heller는 포름산 증기를 위한 수평형 무플럭스 포름산 리플로우 오븐을 설계해 생산에 활용할 수 있도록 제작했습니다. 이 새로운 오븐은 세미(Semi) S2/S8 안전성
표준(유독가스 포함)에 적합하도록 설계되었습니다.
우리의 포믹 리플로우 프로세스.
이 포믹 리플로우 오븐은 주요 열 영역 (일반적으로 소크 영역)에 포름산 증기를 주입하여 일반 리플 로우 오븐처럼 작동합니다. 여기서 포름산은 리플로우 전에 금속의 산화물을 제거합니다. 포믹 레벨은 버블러
시스템에 의해 유지되고 실시간으로 모니터링됩니다.
포름산 정밀 버블러 캐비닛
당사의 포름산 리플로우 오븐은 버블러 시스템을 사용하여 공정 챔버에서 안정적이고 일관된 포름 농도를 제공합니다.
- 일관되고 신뢰할 수 있는 포름산 증기 농도를 0.5% 이내로 제공하여 안정적인 공정을 보장하도록 설계되었습니다.
- 포름산 증기 농도는 주어진 온도에 대해 앙투안 방정식에 따라 질소를 포화시킵니다. 오븐의 포름산 증기 농도는 버블러 온도와 버블러를 통한 질소 흐름에 따라 달라질 수 있습니다.
- 자동 리필 시스템은 버블러가 최소 레벨 아래로 떨어지지 않도록 합니다.
버블러 캐비닛
헬러 포믹 게이트.
당사는 공정 가스 소비를 획기적으로 줄이는 역할을 하는 포믹 게이트 시스템을 개발했습니다. 포믹 게이트는 오븐의 입구와 출구에 배치된 이중 도어 세트 역할을 합니다. 생산 중에는 제품이 기계에 들어가거나 나올
때 한 번에 하나의 문만 열립니다. 이것은 공정 챔버를 외부로부터 격리하고 질소 및 포름산 소비를 낮춥니다.
포믹 리플로우의 주요 이점은 다음과 같습니다.
- 대량 제조를 위한 포믹 리플로우- 당사의 포믹 리플로우 오븐은 표준 리플로우 오븐과 유사한 트루인 라인 연속 처리를 제공합니다. 이는 배치 유형 경쟁업체와 비교할 때 가장 높은 처리량을 제공합니다.
- 낮은 소모품 비용 – 이 포믹 리플로우 오븐은 오븐 입구와 출구에서 이중 도어 세트 역할을 하는 고유한 포믹 게이트 기능을 제공합니다. 이것은 높은 처리량을 유지하면서 낮은 질소 및 포름 소비를 제공합니다.
- 진공 공정 옵션 사용 가능 – 보이드 없는 상호연결에 대한 계속 증가하는 업계 수요를 충족하기 위해 리플로우 영역의 진공 챔버(옵션)를 당사의 포믹 오븐에 사용할 수 있습니다.
- 고급 안전 시스템- 이 포믹 오븐은 통합 안전 모니터링 및 저감 시스템으로 모든 SEMI S2/S8 표준을 충족합니다.
- 최대 클래스 100 클린 룸 분류 – 최대 클래스 100까지 여러 클린 룸 호환 옵션을 사용할 수 있습니다!
- 실시간 연속 포름산 모니터링 – 효과적인 공정 모니터링을 위해 포름산 농도가 지속적으로 표시되고 기록됩니다.
- 리더십 및 경험 – Heller Industries는 플럭스리스 포름 리플로우를 개척한 기술 리더이며 시장에 지속적인 인라인 포름 리플로우를 도입한 최초의 회사입니다.
