압력에 의한 보이드프리 경화
가압 경화 오븐(PCO) 또는 오토클레이브는 일반적으로 다이 어태치 및 언더필 애플리케이션에서 사용되는 접착 공정에서 보이드를 최소화하고 접착강도를 증대시키기 위해 사용됩니다.
보이드로 인한 문제
- 기판에 대한 디바이스의 접착력 감소
- 열 성능 감소
- 솔더 크리프로 인한 전기적 고장
- 낮은 신뢰성 및 짧은 수명
압력 경화로 보이드 제거
압력이 증가함에 따라 더 많은 가스 분자가 용해 될 수 있습니다 (헨리의 법칙)
- 헨리의 법칙 – 액체에 용해된 가스의 양은 액체 위의 분압에 비례합니다.
- 경화 과정에서 압력을 높이면 보이드가 제거됩니다.
UF의 기포는 압력이 증가함에 따라 용해됩니다.
기판
경화 매체의 잔류 가스 기포는 압력이 증가함에 따라 용해됩니다.
용해 된 가스는 확산을 통해 퍼집니다.
기판
용해 된 가스는 확산에 의해 매체 전체에 퍼집니다. 가장자리에 도달하면 가스 방출을 통해 탈출합니다.
Dissolved gas escapes at the edges through outgassing.
기판
결국 모든 잔류 가스가 제거되어 경화 매체의 보이드가 없어집니다.
압력 경화 오븐 공정
- 압력 경화 오븐(PCO) 또는 오토클레이브는 다양한 접착 및 경화 응용 분야에서 보이드를 최소화하고 접착 강도를 높이는 데 사용됩니다.
- PCO는 공기 또는 질소로 단단한 챔버를 가압하고 레시피에 정의된 경화 주기 동안 압력 프로파일을 유지합니다.
- 대류 히터와 열교환기는 전체 경화 주기 동안 레시피에서 정의한 열 프로파일을 유지합니다.
일반적인 PCO 온도 및 압력 프로파일.
일반적인 PCO 애플리케이션
- 다이 부착 경화
- 언더필 큐어링
- Ag 소결 경화
- MEMS 씰링
- 테이핑/라미네이션
- PCB VIA 필링
- 캡슐화 경화
- 복합 성형
