HCO-N2-02

Heller 경화기

Heller의 경화기 HCO N2-02 장비는 패널공정의 인라인화를 통해 2매거진 까지 대응하는 높은 생산성을 제공합니다.

• 로더를 포함한 장비사이즈 (mm): 4,550[W] x 3,110[D] x 2,340[H]
• 2 매거진 대응력(510x515mm 패널)
• 최고온도: 200°C
• 질소환경 조성으로 산소농도를 100ppm 수준으로 감소
• 크린룸 1,1000클래스 환경
• SECS/GEM
• ±3°C 의 균일한 온도